热处理是提高机械零件性能、可靠性和使用寿命的重要基础工艺。热处理可以充分挖掘和发挥金属材料的潜力，使机械零件在各种使用条件下充分满足性能要求和使用寿命。真空热处理的优点是无氧化、脱碳、无污染；工件表面光滑，畸变小；综合机械性能优异；工艺适用范围广；自动化程度高；生产效率高；产品质量稳定；节能等优点。真空热处理可广泛应用于退火、回火、油（气）淬火、高压（高流量）气淬火、真空渗碳、真空烧结、真空钎焊等领域。
真空热处理的工艺特点是真空脱气、真空脱脂、真空净化和真空保护。
真空脱气效果：钢零件在真空加热过程中，降低炉压，即提高真空度，钢中残留气体(H、N、CO等。)会逃逸(脱气)，从而提高钢材零件的机械性能。真空淬火后，工模零件的塑性和冲击韧性会提高，从而延长使用寿命。
真空脱脂功能：真空脱脂炉广泛应用于金属箔、拉丝线、小孔网等金属零件的精密脱脂处理。由于附着在这些物体上的油属于普通脂肪族，是碳、氢、氧的化合物，其蒸汽压力较高，在真空中加热时会迅速分解为水蒸气、氢、二氧化碳等气体，容易蒸发，被真空泵抽走。但在真空热处理前，工件仍应清洗并放入炉内。避免大量油污染炉和真空泵汕头，以免损坏真空泵的性能。
真空净化效果：金属表面有氧化膜、轻微锈蚀、氮化物、氢化物等，在真空中加热时，这些化合物被还原、分解或挥发消失，使工件表面光滑。
真空保护：当几乎所有的金属在氧化氛围中加热时，它们会氧化金属表面，失去金属的光泽，真空加热可以保持金属材料原有的表面亮度。