为适应当前海绵钛生产过程中对大抽气速率真空泵的需求，沈阳真空技术研究所在1996年开发的油增压扩散泵的基础上，最近又进一步改进成高性能的油增扩泵。这种泵的主要特点是：一、具有较大的抽速，其值可达名义抽速的80～90%，工作压力1.3×10-1Pa上真空泵的抽速特性系数最高为Z=4.44L/(s.cm2),这是一般泵类难以胜任的。二、5×10-1～5×10-2Pa压力区间内也有较大抽速，其值也在名义抽速的70%以上。极限压力为10-3～10-4Pa，临界前级压力大于50Pa。这种改进型的油增压扩散泵完全弥补了目前油扩散泵在1～10-1Pa压力范围内不能正常工作和油增压泵（油扩散喷射泵）在10-1～10-2Pa压力范围内也不能正常工作的严重缺陷。这种改进型的油增压扩散泵将满足在1×10-1～1×10-2Pa区间内要求有大抽气量的真空设备的需要。例如，真空冶金、真空镀膜等设备的需求。其产品系列如图所示。